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生产更多的氮
引用本文:
顾荣而.生产更多的氮[J].深冷技术,1984(2).
作者姓名:
顾荣而
作者单位:
杭州制氧机研究所
摘 要:
<正>据美国空气制品和化学品公司报道,一台日产250吨的制氮设备在加利福尼亚州森尼维尔安装完工。将对该地区半导体制造厂提供更多的氮,采用管道输送,供硅谷三十多家用户使用。输送管路从马顿维城经森尼维尔、圣克拉拉、圣何塞和米尔皮塔斯等地,全长17公里。自1971年开始,森尼维尔制氮设备已用管
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