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| 电子束辐照对InP（100）表面硫钝化的增强作用 | |
| 作者姓名： | 陈维德 李秀琼 段俐宏 谢小龙 |
| 作者单位： | [1]中国科学院半导体研究所和表面物理国家重点实验实验室 [2]中国科学院微电子中心研究部 |
| 摘 要： | 采用含有过量硫的（ＮＨ４）２Ｓｘ对ＩｎＰ（１００）表面进行化学钝化和辉光放电电子束辐照处理，液氮下光致发光强度比未辐照的光致发光强度提高了１．５倍，比未钝化的提高了５倍．利用Ｘ射线光电子谱研究了电子辐照对ＩｎＰ表面硫钝化的影响．结果表明，硫钝化ＩｎＰ表面经电子束辐照可以促使Ｓ与ＩｎＰ中的Ｉｎ更好的化合． |
| 关 键 词： | 电子束辐照 磷化铟 硫钝化 表面处理 |
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