| 微泵硅膜振动拾振传感器的设计 |
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| 引用本文： | 温殿忠.微泵硅膜振动拾振传感器的设计[J].传感技术学报,2007,20(6):1249-1252. |
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| 作者姓名： | 温殿忠 |
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| 作者单位： | 黑龙江大学,黑龙江省电子工程重点实验室,哈尔滨,150080;黑龙江大学集成电路重点实验室,哈尔滨,150080 |
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| 摘 要： | 设计了一种微泵硅膜振动拾振传感器.该传感器采用了非对称基区梳状温度补偿晶体管,并提出了恰当设计SiO2膜和Al膜的厚度对零点温度漂移有极小值是非常重要的.实验结果表明,本文设计的微泵硅膜振动拾振传感器结构合理并且适合各种硅微泵、具有温度补偿功能,在-10℃-50℃的范围内,灵敏度的温度系数为0.2%.还具有灵敏度高、制造工艺相对简单、与MEMS工艺相兼容、使用寿命长的优点,有广泛的应用前景.
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| 关 键 词： | 微泵 拾振传感器 温度补偿 MEMS |
| 文章编号： | 1004-1699（2007）06-1249-04 |
| 收稿时间： | 2006-07-16 |
| 修稿时间： | 2006-07-162006-10-22 |
Design a collecting vibration frequency sensor of Micro- Pump diaphragm |
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| Wen Dianzhong.Design a collecting vibration frequency sensor of Micro- Pump diaphragm[J].Journal of Transduction Technology,2007,20(6):1249-1252. |
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| Authors: | Wen Dianzhong |
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| Affiliation: | 1. HLJ Province Key Laboratories of Senior-education for Electronic Engineering, Heilongjiang University, Harbin 150080,China; 2. Major Laboratories of Integrated Circuits, Heilongjiang University, Harbin 150080,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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