| 一种微机械陀螺仪仿真分析 |
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| 引用本文： | 杨晓波,李德胜,刘本东,杨建坤. 一种微机械陀螺仪仿真分析[J]. 仪器仪表学报, 2006, 27(Z1): 957-959 |
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| 作者姓名： | 杨晓波 李德胜 刘本东 杨建坤 |
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| 作者单位： | 北京工业大学微机电研究所,北京,100022 |
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| 摘 要： | 根据微机械陀螺仪的灵敏度公式要使它具有高灵敏度,它的驱动模态固有频率和检测模态的固有频率应尽量接近.本研究通过CoventorWare软件中的系统模块进行建模、仿真、分析,改变陀螺仪的结构参数,使它的固有频率接近,达到优化设计目的.
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| 关 键 词： | 微陀螺仪 灵敏度 固有频率 系统模块 |
Simulation of a micro mechanical gyroscope |
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| Yang Xiaobo,Li Desheng,Liu Bendong,Yang Jiankun. Simulation of a micro mechanical gyroscope[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2006, 27(Z1): 957-959 |
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| Authors: | Yang Xiaobo Li Desheng Liu Bendong Yang Jiankun |
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