半导体薄膜自身的力敏参数的测量 |
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引用本文: | 许德华,祝冰.半导体薄膜自身的力敏参数的测量[J].半导体杂志,1995,20(4):33-36. |
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作者姓名: | 许德华 祝冰 |
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作者单位: | 北京理工大学电子系 |
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摘 要: | 半导体薄膜已用于力敏传感器,薄膜自身的力敏参数的测量是很必要的。但迄今只能得到薄膜与其衬底基片结合一体的复合样品测量值,因为很骓把薄膜完好剥离下来,剥下的薄膜又不易测量。本文提出新的算法和公式。在学业 薄膜之前和之后,两次作常规测量,就可算出纯膜自身的参数。
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关 键 词: | 半导体淀积膜 传感器 力敏参数 |
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