| 光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究 |
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| 引用本文： | 余文新,胡小唐,邹自强.光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究[J].计量学报,2002,23(2):101-105. |
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| 作者姓名： | 余文新 胡小唐 邹自强 |
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| 作者单位： | 1. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
2. 北京光电量仪研究中心,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家教委博士点基金 (980 0 5 63 5 ) |
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| 摘 要： | 详细研究了光栅纳米测量系统的误差特性 ,以及利用激光干涉仪对高精度光栅测量系统的系统误差进行检测、并在信号处理中予以补偿和修正的方法。实验表明 ,通过这种系统误差修正方法对周期累计误差和细分误差同时进行修正 ,能够大幅度地将计量光栅系统的测量准确度从微米或亚微米量级提高到纳米级水平 ,以实现光栅纳米测量。
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| 关 键 词： | 光栅 纳米测量 系统误差 细分误差 误差修正 |
| 文章编号： | 1000-1158(2002)02-0101-05 |
| 修稿时间： | 2000年10月17 |
Research on Systematic Error Correction in Grating-Based Nanometrology |
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| YU Wen xin ,HU Xiao tang ,ZOU Zi qiang.Research on Systematic Error Correction in Grating-Based Nanometrology[J].Acta Metrologica Sinica,2002,23(2):101-105. |
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| Authors: | YU Wen xin HU Xiao tang ZOU Zi qiang |
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| Affiliation: | YU Wen xin 1,HU Xiao tang 1,ZOU Zi qiang 2 |
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| Abstract: | Error correction is one of main key techniques in grating based nanometrology. The error characteristics and systematic error correction method using laser interferometer in grating based nanometrology were studied in detail. It is shown by experiments that grating based nanometrology can be realized by applying this error correcting method to greatly upgrade the measuring accuracy from the order of micrometer or sub micrometer to nanometer. |
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| Keywords: | Grating Nanometrology Systematic error Subdivision error Error correction |
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