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半导体硅片生产形势的分析

作者姓名：	梁骏吾郑敏政袁桐闻瑞梅

作者单位：	[1]中国科学院半导体研究所中科院院土 [2]中国信息产业部 [3]同济大学

摘要：
关键词：	半导体硅片生产市场中国发展战略外延硅片集成电路硅片
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