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溅射薄膜可进行光学集成
引用本文:
陶永祥.溅射薄膜可进行光学集成[J].激光与光电子学进展,1985,22(4):48.
作者姓名:
陶永祥
作者单位:
陶永祥
:
摘 要:
铁电溅射膜可能在集成光学领域内得到应用,尽管大多数波导作用元件以单晶结构为基础。众所周知,多晶体或陶瓷材料有明显的电-光效应。溅射薄膜很容易制备,并可淀积在便宜的玻璃或石英基板上。遗憾的是由于晶体边界的散射,溅射薄膜的多晶性质会产生损耗。现在正在寻找减少这种损耗的制备条件。
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