| 双层伞状开孔的微测辐射热计红外吸收分析 |
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| 引用本文： | 蒋君贤,王涛,陈超,吴志明,王军. 双层伞状开孔的微测辐射热计红外吸收分析[J]. 半导体光电, 2023, 44(1): 44-48 |
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| 作者姓名： | 蒋君贤 王涛 陈超 吴志明 王军 |
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| 作者单位： | 电子科技大学 光电科学与工程学院, 成都 610054 |
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| 摘 要： | 建立了具有伞状吸收层结构的微测辐射热计探测单元的红外吸收模型。基于光学导纳矩阵法和阻抗匹配理论,采用三维电磁仿真软件CST,对伞状结构不同开孔尺寸和形状下模型的红外吸收特性进行了分析。结果表明,双层伞状开孔微测辐射热计光学性能与伞状结构开孔大小有密切的关系。该伞状微测辐射热计中引入开孔后,在保持较高的红外吸收特性的基础上,减少了探测单元热容,从而提升了器件响应速度。最终所得探测单元在8~14μm红外波段内的平均吸收率为85%,满足超大规模小像元非致冷红外焦平面探测器的设计要求。
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| 关 键 词： | 微测辐射热计 光学仿真 小像元 吸收率 微桥结构 |
| 收稿时间： | 2022-08-22 |
Infrared Absorption Analysis of Microbolometer with Two-Layer Umbrella-Shaped Openings |
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| JIANG Junxian,WANG Tao,CHEN Chao,WU Zhiming,WANG Jun. Infrared Absorption Analysis of Microbolometer with Two-Layer Umbrella-Shaped Openings[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2023, 44(1): 44-48 |
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| Authors: | JIANG Junxian WANG Tao CHEN Chao WU Zhiming WANG Jun |
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| Affiliation: | School of Optoelectronic Science and Engin., University of Electronic Science and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microbolometer optical simulation small pixel absorptivity micro-bridge structure |
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