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| Al/N共掺杂TiO2薄膜的制备及光学性能 | |
| 作者姓名： | 王泽文 赵莉 蔺冬雪 王玉新 |
| 作者单位： | 辽宁师范大学 物理与电子技术学院, 辽宁 大连 116029 |
| 基金项目： | 辽宁省教育厅面上项目(LJKMZ20221429).通信作者:王玉新E-mail:yuxinwang178@sina.com |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶旋涂法(Sol-Gel Spin-Coating Method)制备了Al掺杂量为3.00at%,N掺杂量分别为6.00at%,7.00at%,8.00at%和9.00at%的Al/N共掺杂TiO2薄膜样品。对样品测试的结果表明,共掺杂样品依旧保留了TiO2的基本结构,并且Al/N共掺杂样品的晶粒尺寸有不同程度的减小,使样品表面得以修饰,变得更加均匀、平整。共掺杂样品吸收边都出现了不同程度的红移,在紫外光区以及可见光区的吸光性都有所增强。N掺杂量为7.00at%时,(101)衍射峰值最大,峰型最尖锐,所得到的TiO2薄膜的光学性能最好。共掺杂后的样品与本征TiO2相比带隙值都有所减小,且最小值为2.873eV。以上结果表明Al/N共掺杂TiO2薄膜使其光学性能得到了改善。 |
| 关 键 词： | Al/N共掺杂 TiO2薄膜 光学性能 溶胶-凝胶法 |
| 收稿时间： | 2022-10-14 |
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