粘土矿物EDAX能谱仪定量分析方法的研究

粘土矿物EDAX能谱仪是粘土矿物化学成分分析重要技术之一。与传统化学分析方法相比，扫描电子显微镜加X射线能谱仪分析速度快，谱图直观，微区定位分析准确，样品用量少，损伤小，但对于粉末及颗粒样品的化学成分定量分析精确度较低，尤其是主量元素的定量分析与经典化学分析方法比较分析误差较大。为进一步改进和完善EDAX粘土矿物化学成分定量分析技术，我们初步建立了专门用于粘土矿物（粉末）EDAX定量分析的标样库，并综合使用TEM／SEM粉末试样制备技术改进了目前普遍采用的EDAX粉末样品制备技术。