| 新型微机械加工为微器件开辟新应用领域 |
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| 作者姓名： | Chris Bang |
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| 作者单位： | MEMGen公司 |
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| 摘 要： | 硅微机械加工被认为是能创造种类繁多的机电元件的一种加工手段.虽然硅基的微机械学在压力和加速度传感器的制造方面取得了巨大的成功,但很多其它类型的器件在实验室外取得成功却很有限.现在人们开发出了一种新型的微机械加工工艺,它基于金属材料而非硅材料,可望制成以前无法制造的新型微器件.EFAB是一种通过金属电镀来制造微器件结构的工艺,它可以实现传统的微机械加工无法制作的复杂的形状和结构.
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New Micromachining Process Enables New Application Areas for Micro-devices |
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| Chris Bang.New Micromachining Process Enables New Application Areas for Micro-devices[J].Electronic Engineering & Product World,2004(4):28-29. |
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| Authors: | Chris Bang |
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