| 钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展 |
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| 引用本文： | 裴亚芳,杨传仁,陈宏伟,张继华,冷文健. 钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展[J]. 绝缘材料, 2006, 39(6): 23-27 |
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| 作者姓名： | 裴亚芳 杨传仁 陈宏伟 张继华 冷文健 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 综述了钛酸锶铅(PST)铁电薄膜目前最常用的4种制备工艺:溶胶-凝胶(Sol_gel)法、磁控溅射(Magnetron Sput-tering)、脉冲激光沉积(PLD)和金属有机化学气相沉积(MOCVD),并简要介绍了PST目前的研究进展以及PST薄膜在铁电移相器、动态随机存储器(DRAM)和热释电红外探测器方面的应用,提出了发展展望。
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| 关 键 词： | 钛酸锶铅(PST) 铁电薄膜 制备工艺 应用 |
| 文章编号： | 1009-9239（2006）06-0023-05 |
| 收稿时间： | 2006-07-29 |
| 修稿时间： | 2006-08-02 |
The Preparation, Applications and Research Progress of PbxSr1-xTiO3 Ferroelectric Thin Film |
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| PEI Ya-fang,YANG Chuan-ren,CHEN Hong-wei,ZHANG Ji-hua,LENG Wen-jian. The Preparation, Applications and Research Progress of PbxSr1-xTiO3 Ferroelectric Thin Film[J]. Insulating Materials, 2006, 39(6): 23-27 |
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| Authors: | PEI Ya-fang YANG Chuan-ren CHEN Hong-wei ZHANG Ji-hua LENG Wen-jian |
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| Abstract: | The progress of the research on the ferroelectric thin film of lead strontium titanate,as well as its four preparation methods,such as Sol-Gel,magnetron sputtering,PLD and MOCVD,and its applications in phase shifter,DRAM,pyrolectric infrared sensor,are presented. |
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| Keywords: | lead strontium titanate ferroelectric thin film preparation technologies applications |
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