| 相移雅满横向剪切干涉仪 |
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| 引用本文： | 王利娟,刘立人,栾竹,孙建锋,周煜. 相移雅满横向剪切干涉仪[J]. 中国激光, 2009, 36(5). DOI: 10.3788/CJL20093605.1156 |
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| 作者姓名： | 王利娟 刘立人 栾竹 孙建锋 周煜 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 摘 要： | 雅满横向剪切干涉仪是一种很重要的波面检测仪器,特别是可以对白光的波面进行检测.为了弥补传统雅满横向剪切干涉仪的不足,提出了一种相移雅满横向剪切干涉仪.它是在雅满横向剪切干涉光路中插入起偏器,1/4波片和检偏器所形成,实现了剪切干涉与相移的结合,能有效地提高测量精度,可适用于白光的波面检测,结构简单且操作方便.实验中通过旋转检偏器获得了相移干涉图,其结果很好地验证了该相移雅满横向剪切干涉仪的有效性.
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| 关 键 词： | 光学器件 横向剪切干涉仪 相移 波面检测 |
Phase Shifting Jamin Lateral Shearing Interferometer |
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| Wang Lijuan,Liu Liren,Luan Zhu,Sun Jianfeng,Zhou Yu. Phase Shifting Jamin Lateral Shearing Interferometer[J]. Chinese Journal of Lasers, 2009, 36(5). DOI: 10.3788/CJL20093605.1156 |
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| Authors: | Wang Lijuan Liu Liren Luan Zhu Sun Jianfeng Zhou Yu |
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