| 超级千分表的发展 |
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| 引用本文： | 邹自强,李明媛,邹光宇. 超级千分表的发展[J]. 仪器仪表学报, 2006, 27(2): 209-214 |
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| 作者姓名： | 邹自强 李明媛 邹光宇 |
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| 作者单位： | 标普纳米测控技术股份有限公司,北京,100083 |
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| 摘 要： | 讨论了超级千分表的工作原理和优点,描述了超级千分表关键参数及其检测方法。其中,由于百万分表(纳米表,纳米测长仪)的技术难度最大,所以文中侧重讨论它的检测。大量实测数据表明:百万分表的测量重复性(标准偏差)在0.6~1.2nm范围内;在未作任何误差修正的条件下,示值误差=±(30~60)nm;以光波波长作为基准进行误差修正后,示值误差可达±(10~20)nm,细分误差≤±5nm。
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| 关 键 词： | 超级千分表 纳米测量 计量光栅 纳米传感器 |
| 修稿时间： | 2004-08-01 |
Developments on Super Length Gauges |
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| Zou Ziqiang,Li Mingyuan,Zou Guangyu. Developments on Super Length Gauges[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2006, 27(2): 209-214 |
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| Authors: | Zou Ziqiang Li Mingyuan Zou Guangyu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Super length gauge Nanometer measurement Metrological gratings Nano sensor |
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