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| 金刚石薄膜 | |
| 引用本文： | 孙亦宁,郭晚土.金刚石薄膜[J].真空与低温,1991,10(3):42-49. |
| 作者姓名： | 孙亦宁 郭晚土 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 简要介绍了金刚石薄膜的研制历史。介绍了金刚石的结构和性质。文中的第三部分介绍了金刚石薄膜在机械、电子、半导体、光学等领域中的应用。又以其主要的制作法——微波法、热丝法为重点阐述了金刚石薄膜研制工作中的新进展。 |
| 关 键 词： | 金刚石 薄膜 真空镀膜 |
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