有源矩阵基板用两块光刻版a—SiTFT阵列

1.前言当今社会正迎来高度信息化的时代,而 LCD(液晶显示)等显示器件以及光敏阵列等感光器件则是构成信息输入、输出终端的关键性器件。为提高上述器件的性能,有源矩阵板的应用研究十分活跃。有源矩阵基板是在玻片等衬底上,按矩阵状配置以晶体管为代表的众多有源元件。其中采用有源矩阵基板的 LCD(AM-LCD),是一项旨在实现可与 CRT 匹敌的高象质平板显示的强劲技术,尤其受到人们的关注。