| 热氧化纳米Zn制备ZnO厚膜及其气敏特性的研究 |
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| 引用本文： | 刘延辉,曾大文,王辉虎,谢长生. 热氧化纳米Zn制备ZnO厚膜及其气敏特性的研究[J]. 传感技术学报, 2005, 18(1): 43-46 |
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| 作者姓名： | 刘延辉 曾大文 王辉虎 谢长生 |
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| 作者单位： | 华中科技大学材料学院,武汉,430074;华中科技大学材料学院,武汉,430074;华中科技大学材料学院,武汉,430074;华中科技大学材料学院,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 以激光-感应复合加热法制备的纳米Zn为气敏基料,以蒸馏水为粘结剂,用空气电阻炉在600℃氧化烧结2 h,在Al2O3陶瓷管上制备了旁热式厚膜气敏元件.然后进行了XRD检测和SEM电镜观察,以静态配汽法作气敏性能的测试.结果表明:ZnO形成了由纳米棒、纳米薄片组成的带空隙的厚膜,其颗粒形貌和膜结构能够承受气敏性能测试的温度冲击而保持稳定,对VOCs具有较好的气体敏感性.
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| 关 键 词： | 纳米ZnO 纳米Zn 气敏传感器 |
| 文章编号： | 1004-1699(2005)01-0043-04 |
| 修稿时间： | 2004-08-02 |
The Thermal Oxidated Formation of ZnO Thick Film Using Nanometer ZnParticles and the Gas Sensing Properties |
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| LIU Yan??hui,ZENG Da??wen,WANG Hui??hu,XIE Chang??sheng. The Thermal Oxidated Formation of ZnO Thick Film Using Nanometer ZnParticles and the Gas Sensing Properties[J]. Journal of Transduction Technology, 2005, 18(1): 43-46 |
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| Authors: | LIU Yan??hui ZENG Da??wen WANG Hui??hu XIE Chang??sheng |
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| Affiliation: | Dep t. of Material Science and Engineering , Huazhong Univ. of Sci. and Tec. , Wuhan 430074, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Zn nanoparticals ZnO nanoparticals gas sensor |
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