|
|||||
|
|
| 微机电系统技术及其在卫星中的应用 | |
| 引用本文： | 王晓海,刘彦儒.微机电系统技术及其在卫星中的应用[J].卫星电视与宽带多媒体,2006(20):32-34. |
| 作者姓名： | 王晓海 刘彦儒 |
| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)技术MEMS这个新技术术语,近年来不但在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中不断出现。它是"Micro ElectroMechanical Systems"的缩写,有的译成"微机电系统",也有译成"微电子机械系统"的。微电子机械系统是微电子技术的拓宽和延伸 |
| 关 键 词： | 微机电系统技术 微电子机械系统 微电子技术 Systems 应用 卫星 机械加工技术 传感器技术 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |