| 光纤点衍射干涉仪的技术研究 |
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| 引用本文： | 刘国淦,张学军,王权陡,张忠玉,郭培基,张峰,齐涤菲. 光纤点衍射干涉仪的技术研究[J]. 光学精密工程, 2001, 9(2): 142-145 |
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| 作者姓名： | 刘国淦 张学军 王权陡 张忠玉 郭培基 张峰 齐涤菲 |
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| 作者单位： | 中科院长春光学精密机械与物理研究所 |
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| 基金项目： | 中科院重点基金! (ZG99Q 0 2 B) |
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| 摘 要： | 提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法,由两根光纤分别传输参考光和测试光,利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比,该方法结构相对简单,误差来源少,且不需要传统干涉仪中的高质量标准面,而是由光纤提供高精度的参考波面。
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| 关 键 词： | 干涉仪 点衍射 相移 光学纤维 |
| 文章编号： | 1004-924X(2001)02-0142-04 |
| 收稿时间： | 2000-12-01 |
| 修稿时间： | 2000-12-01 |
Fiber point diffraction interferometer |
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| LIU Guo-gang,ZHANG Xue-jun,WANG Quan-Dou,ZHANG Zhong-yu,GUO Pei-ji,ZHANG Feng,QI Di-fei. Fiber point diffraction interferometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2001, 9(2): 142-145 |
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| Authors: | LIU Guo-gang ZHANG Xue-jun WANG Quan-Dou ZHANG Zhong-yu GUO Pei-ji ZHANG Feng QI Di-fei |
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| Affiliation: | Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, State Key Lab of Applied Optics, Changchun, 130021, China |
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| Abstract: | WT5BZ]A method implementing point-diffraction interferometry based on fiber is proposed. Two fibers transmit reference wave and testing wave, respectively, the high quality diffractive spherical wavefront created by single mode fiber can be used for measuring super precision surface. Compared with conventional interferometers,the configuration is easier and less error.Instead of the traditional standard surface, the fiber will provide high quality reference wavefront. [WT5HZ] |
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| Keywords: | interferometers point diffraction phase shift optical fibers |
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