| 粉末溅射金属氧化物薄膜气敏元件 |
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| 引用本文： | 张礼,赵志桓,曲建飞,王传超,裘南畹.粉末溅射金属氧化物薄膜气敏元件[J].计测技术,2014(Z1). |
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| 作者姓名： | 张礼 赵志桓 曲建飞 王传超 裘南畹 |
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| 作者单位： | 1. 济南半导体元件所,山东 济南,250014
2. 山东大学 物理学院,山东 济南,250011 |
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| 摘 要： | 指出了薄膜元件能否实用化的关键在气敏层的稳定性；提出了粉末溅射和高能溅射是气敏层稳定性的保证。指出了能实用化的薄膜元件是否能生产还要有较高的成品率，这就要求对晶体管光刻工艺进行改造和发展。给出了SnO2/16%CeO2，ZnO/1%CeO2，Fe2 O3/2%CeO2，TiO2/2%CeO2，ZnSnO3（ ZnO +SnO2）元件的气敏特性。
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| 关 键 词： | 粉末溅射 气敏元件 光刻 稳定性 |
Powder Sputtered Metal-oxide thin Film Gas Sensor |
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| ZHANG Li,ZHAO Zhihuan,QU Jianfei,WANG Chuanchao,QIU Nanwan.Powder Sputtered Metal-oxide thin Film Gas Sensor[J].Metrology & Measurement Technology,2014(Z1). |
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| Authors: | ZHANG Li ZHAO Zhihuan QU Jianfei WANG Chuanchao QIU Nanwan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | powder sputtering gas sensor lithographing stability |
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