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厚膜压力传感器的温度补偿与调理方法研究
引用本文:陈建群,马以武.厚膜压力传感器的温度补偿与调理方法研究[J].传感器世界,2005,11(10):12-15.
作者姓名:陈建群  马以武
作者单位:中国科学院合肥智能机械研究所;中国科学院合肥智能机械研究所
摘    要:考虑到以往厚膜传感器压敏元件和补偿电路的一致性较差、稳定性不够理想的问题,设计了一种优化的厚膜压力传感器片内平面化结构,其可提高传感器温度补偿效果;分析了信号调理电路的合理布局,元件的科学分布对减小误差,提高抗干扰能力的有效性,并给出了实验数据,通过其证明了设想的正确性.

关 键 词:温度补偿  信号调理  厚膜压力传感器
文章编号:1006-883X(2005)10-0012-004

Study On The Temperature Compensation And Single Magnification Of The Thick-Film Pressure Sensor
Chen JianQun;Ma YiWu.Study On The Temperature Compensation And Single Magnification Of The Thick-Film Pressure Sensor[J].Sensor World,2005,11(10):12-15.
Authors:Chen JianQun;Ma YiWu
Abstract:
Keywords:temperature compensation  single magnification  thick-film pressure sensor
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