纳米尺度析出相透射电镜的统计分析技术探讨

纳米级析出相在钢中起到析出强化作用或者作为晶粒生长的抑制剂,来获得特定取向的织构,因此,对析出相进行系统分析非常重要。目前通过扫描电镜和透射电镜很难实现纳米尺度尤其是50 nm以下析出相的统计分析工作。实验通过将扫描电镜夹杂物统计的Feature软件包应用到透射电镜的能谱控制软件中,从而实现了透射电镜直接对钢中纳米尺度析出相的统计。同时对透射电镜进行析出相统计中的主要影响因素如样品制备方法、采集参数、分类方法和大面积统计方法等进行了深入研究。结果表明,实验最佳条件为采用新的复型方法制样,能谱单点采集时间为5 s,图像分辨率为2 048,连续采图统计,终止条件为析出相统计数量过100个,确定了析出相制定分类规则的具体实现方法。结合无取相电工钢W800和WH470的实验统计结果可知,其析出相种类有CuS₂和MnS+CuS₂的核壳复合析出,且实验方法能够统计分析的析出相最小尺寸为10 nm。