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金刚石膜与硬质合金基体间的界面状态
引用本文:匡同春,刘正义,代明江,周克崧,王德政. 金刚石膜与硬质合金基体间的界面状态[J]. 金属学报, 1998, 34(7): 779-784
作者姓名:匡同春  刘正义  代明江  周克崧  王德政
作者单位:[1]华南理工大学机电系 [2]广州有色金属研究院
基金项目:广东省科委基金!950263,广东省高教厅基金!960004
摘    要:采用SEM,TEM对金刚石膜-硬质合金基体横截面的形态进行了研究,探讨了甲烷含量对CVD金刚石膜-基横截面各组织层次的影响。结果表明,经化学侵蚀脱钴和等离子体刻蚀脱碳预处理的YG8硬质合金基体上所沉积的金刚石膜-基横截面组织的典型层次依次为:金刚石/薄的石墨碳中间层/细小的WC层/残留的脱碳层/残留的疏松层/YG8原始基体,甲烷含量对CVD金刚石膜-基横截面各组织层次的形成有显著的影响。

关 键 词:薄膜 CVD 金刚石膜 硬质合金 界面 横截面形貌
收稿时间:1998-07-18
修稿时间:1998-07-18

STUDY ON THE INTERMCIAL MORPHOLOGY AND STRUCTURE OF DIAMOND THIN FILM-CEMENTED CARBIDE SUBSTRATE
KUANG Tongchun,LIU ZhengyiDAI Mingjiang,ZHOU Kesong,WANG Dezheng. STUDY ON THE INTERMCIAL MORPHOLOGY AND STRUCTURE OF DIAMOND THIN FILM-CEMENTED CARBIDE SUBSTRATE[J]. Acta Metallurgica Sinica, 1998, 34(7): 779-784
Authors:KUANG Tongchun  LIU ZhengyiDAI Mingjiang  ZHOU Kesong  WANG Dezheng
Affiliation:KUANG Tongchun,LIU Zhengyi(Department of Mechanical and Electric Engineering,South China University of Technology,Guangzhou )DAI Mingjiang,ZHOU Kesong,WANG Dezheng(Guangzhou Research Institute of Non-Ferrous Metals,Guangzhou )
Abstract:
Keywords:CVD diamond thin film   cemented carbide   interface   cross-sectional morphology
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