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| MEMS光开关的静电驱动技术 | |
| 引用本文： | 林静,黄元庆.MEMS光开关的静电驱动技术[J].中国仪器仪表,2005(6):73-75. |
| 作者姓名： | 林静 黄元庆 |
| 作者单位： | 厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005 |
| 摘 要： | 本文主要介绍MEMS光开关4种静电驱动的不同结构,及其各自在光开关性能上的优势与不足,这对MEMS光开关的设计研究具有参考价值. |
| 关 键 词： | MEMS光开关 静电驱动 悬臂梁驱动 扭臂驱动 梳状驱动 |
A Technology on Electrostatic Actuators of MEMS Optical Switch |
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| Abstract: | |
| Keywords: | SDA |
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