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| 极高真空的获得和测量 | |
| 引用本文： | C Benvenuti ,翁国屏 ,姜万顺 ,邹定忠.极高真空的获得和测量[J].真空,1980(6). |
| 作者姓名： | C Benvenuti 翁国屏 姜万顺 邹定忠 |
| 摘 要： | 简介 任何真空系统的性能,都是由真空室的材料、泵和真空计的选择而确定的。获得极高真空(低于10-9帕)的首要条件是使用放气率低的材料。现有的不锈钢和因康镍合金是合适的,这种合金在适当条件下,对于氢的放气率低于10-10帕·米·秒-1(10-13托·升·秒-1·厘米-2)。其次,要确切地了解泵和真空计的低压性能。由于测量和抽气极限之间互相干扰,满足后一要求常常是困难的。我们利用了低温泵提供压强与抽速以及低的已知放气率的材料无关的特点,获得了低于微微帕范围(10-12托)的压强,而且可以容易地求得任何测量装置的低压极限。沿用这种方法,我们… |
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