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| 低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析 | |
| 作者姓名： | 朱目成 刘强 |
| 作者单位： | [1]西南工学院 [2]气动中心4所 |
| 摘 要： | 本文介绍一种低ｇ值双悬臂梁式硅压阻式加速度传感器新结构，通过理论分析与计算说明该结构的硅压阻式加速度传感器具有良好的输出性能。 |
| 关 键 词： | 加速度传感器 压阻式传感器 硅 低g值 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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