| 过渡族金属掺杂ZnO薄膜的晶体结构和磁性能 |
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| 引用本文： | 方东明,周勇,赵小林. 过渡族金属掺杂ZnO薄膜的晶体结构和磁性能[J]. 磁性材料及器件, 2006, 37(1): 19-22,35 |
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| 作者姓名： | 方东明 周勇 赵小林 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学,微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学,微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 教育部科学技术研究重大项目(0307) |
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| 摘 要： | 采用电子束蒸发法制备了过渡族金属(Fe、Co、Cu)掺杂ZnO薄膜。分析和研究了衬底温度以及Cu掺杂量对薄膜相结构的影响,获得沿c轴高度择尤取向的高质量ZnO薄膜。采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的显微结构,利用所得的图象信息对薄膜进行分析,发现400℃的衬底温度对硅衬底薄膜是合适的,与XRD分析相吻合。通过对薄膜磁性能的分析和研究,得出一些有意义的结果:适量Fe、Co离子掺杂的ZnO薄膜,在室温下具有铁磁性,而在此基础上掺入少量的Cu离子能改善薄膜的磁性能。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 掺杂 电子束蒸发 结构 磁性能 |
| 文章编号： | 1001-3830（2006）01-0019-04 |
| 收稿时间： | 2005-05-20 |
| 修稿时间： | 2005-05-202005-09-05 |
Crystal Structure and Magnetic Properties of Transition-metal-doped ZnO Films |
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| FANG Dong-ming,ZHOU Yong,ZHAO Xiao-lin. Crystal Structure and Magnetic Properties of Transition-metal-doped ZnO Films[J]. Journal of Magnetic Materials and Devices, 2006, 37(1): 19-22,35 |
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| Authors: | FANG Dong-ming ZHOU Yong ZHAO Xiao-lin |
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| Affiliation: | Research Institute of Micro/Nanometer Science and Technology, Key Laboratory for Thin Film and Mierofabrieation Technology of the Ministry of Education, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO film doping e-beam evaporation crystal structure magnetic properties |
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