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区熔硅单晶的多级芯掺杂方法

作者姓名：	王喜民

作者单位：	洛阳硅单晶厂

摘要：	本文介绍了区熔硅单晶掺磷的多级芯掺杂工艺流程及计算依据。实践表明,该方法是行之有效的。
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