| 用共蒸发法制备AlSb多晶薄膜 |
| |
| 引用本文： | 姚菲菲,雷智,冯良桓,张静全,李卫,武莉莉,蔡伟,蔡亚平,郑家贵,黎兵.用共蒸发法制备AlSb多晶薄膜[J].半导体学报,2006,27(9):1578-1581. |
| |
| 作者姓名： | 姚菲菲 雷智 冯良桓 张静全 李卫 武莉莉 蔡伟 蔡亚平 郑家贵 黎兵 |
| |
| 作者单位： | 四川大学材料科学系,成都,610064;四川大学材料科学系,成都,610064;四川大学材料科学系,成都,610064;四川大学材料科学系,成都,610064;四川大学材料科学系,成都,610064;四川大学材料科学系,成都,610064;四川大学材料科学系,成都,610064;四川大学材料科学系,成都,610064;四川大学材料科学系,成都,610064;四川大学材料科学系,成都,610064 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
| |
| 摘 要： | 采用元素共蒸发法结合退火处理制成了AlSb多晶薄膜.利用x射线衍射、透射光谱、暗电导温度关系等方法研究了薄膜的结构、光学和电学性质.发现540℃退火后得到的AlSb多晶薄膜呈立方相结构,间接跃迁光能隙为1.62eV,电导激活能约为0.33eV.研究结果表明,AlSb薄膜有可能成为新型太阳电池的重要材料.
|
| 关 键 词： | AlSb 退火 多晶薄膜 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)09-1578-04 |
| 收稿时间： | 12 7 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 04 28 2006 12:00AM |
Preparation of AlSb Polycrystalline Thin Films by Co-Evaporation |
| |
| Yao Feifei,Lei Zhi,Feng Lianghuan,Zhang Jingquan,Li Wei,Wu Lili,Cai Wei,Cai Yaping,Zheng Jiagui,and Li Bing.Preparation of AlSb Polycrystalline Thin Films by Co-Evaporation[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(9):1578-1581. |
| |
| Authors: | Yao Feifei Lei Zhi Feng Lianghuan Zhang Jingquan Li Wei Wu Lili Cai Wei Cai Yaping Zheng Jiagui and Li Bing |
| |
| Affiliation: | Department of Materials Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China;Department of Materials Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China;Department of Materials Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China;Department of Materials Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China;Department of Materials Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China;Department of Materials Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China;Department of Materials Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China;Department of Materials Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China;Department of Materials Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China;Department of Materials Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | AlSb anneal polycrystalline thin films |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
|
