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微电子机械系统（MEMS）研究现状与展望

引用本文：	张寿柏,蔡炳初.微电子机械系统（MEMS）研究现状与展望[J].薄膜科学与技术,1995,8(3):250-259.

作者姓名：	张寿柏蔡炳初

摘要：
关键词：	微电子机械系统机械系统微电子技术
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