一新型3自由度柔性微动平台的设计和分析 |
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作者单位: | ;1.辽宁抚顺市技师学院实习一厂;2.辽宁石油化工大学机械工程学院 |
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摘 要: | 为解决微定位平台大行程与高精度之间的矛盾,本文设计一新型柔性精密微动平台,并利用螺旋理论对其进行相应的运动特性分析。该柔性微动平台是将三个柔支链构分别作用于工作台的三个轴向上,对柔性机构施加相应的力,使工作台做相应的移动。通过对该平台的有限元分析,获取施加力与各个轴向位移的关系,及输入位移与输出位移之间关系,以使该柔性微动平台达到微米级定位精度的目的。
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关 键 词: | 微动平台 柔性机构 螺旋理论 有限元分析 |
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