| 表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试 |
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| 引用本文： | 许高斌,汪家文. 表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 401-403 |
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| 作者姓名： | 许高斌 汪家文 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学,合肥,230009 |
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| 摘 要： | 提出了一种在线提取多晶硅薄膜电阻温度系数的简单测量方法.给出了瞬态热电分析模型,综合考虑了各种散热因素如对流、辐射以及向衬底传热的影响,通过实验提取出参数.提出的方法对分析其他MEMS器件的热电特性和监控器件设计都具有实际应用价值和借鉴意义.
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| 关 键 词： | 电阻温度系数 多晶硅薄膜 表面微加工 在线测试 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0401-03 |
| 修稿时间： | 2005-05-05 |
On-line Testing for Temperature Coefficient of Resistance of Surface-Micromachined Polysilicon Thin Films |
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| Xu Gaobin,Wang Jiawen. On-line Testing for Temperature Coefficient of Resistance of Surface-Micromachined Polysilicon Thin Films[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 401-403 |
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| Authors: | Xu Gaobin Wang Jiawen |
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