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| 第六讲：真空测量 | |
| 引用本文： | 刘玉岱.第六讲：真空测量[J].真空,1997(4):41-47. |
| 作者姓名： | 刘玉岱 |
| 作者单位： | 东北大学 |
| 摘 要： | 第六讲：真空测量刘玉岱（东北大学）三、分压力测量２．四极滤质器（上接１９９７第３期）四极滤质器又称四极质谱计。四极滤质器的质量分离原理是基于不同质荷比的离子在高频和直流四极场中，运动轨迹稳定与否来实现的。它是近代残余气体分析器中最为流行的无磁滤质器，... |
| 关 键 词： | 真空测量 分压力 真空计 校准 |
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