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| 带液相淀积SiO_2栅绝缘体的低温处理多晶硅薄膜晶体管的性能和关态电流机理 | |
| 摘 要： | 带液相淀积ＳｉＯ＿２栅绝缘体的低温处理多晶硅薄膜晶体管的性能和关态电流机理＝ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅａｎｄＯｆｆ－ｓｔａｔｅｃｕｒｒｅｎｔｍｅｃｈａｎｉｓｍｓｏｆｌｏｗ－ｔｅｍｐｅｒａ－ｔｕｒｅｐｒｏｃｅｓｓｅｄｐｏｌｙｓｉｌｉｃｏｎｔｈｉｎ－ｆｉｌｍ... |
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