不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究 |
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引用本文: | 石彦彦,罗永春,张国庆.不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究[J].金属功能材料,2016(4):35-39. |
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作者姓名: | 石彦彦 罗永春 张国庆 |
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作者单位: | 兰州理工大学材料科学与工程学院;兰州理工大学省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室 |
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摘 要: | 用射频磁控溅射的方法分别在单晶Si(100)和304不锈钢基底上制备了FeNiCoCrMn高熵合金薄膜,利用EPMA、XRD、SEM和动电位极化测试,确定薄膜的成分并探讨不同基底温度下沉积的薄膜的相结构、膜厚、形貌以及耐腐蚀性能规律。研究表明:高熵合金薄膜的成分与高熵合金靶材的成分一致,组成元素接近等摩尔比,且薄膜成分均匀;基底温度为100、200、300℃沉积的薄膜为非晶结构,基底温度为400、500℃沉积的薄膜为晶体结构;随着基底温度的升高,薄膜的厚度变薄,薄膜表面颗粒越来越大,横截面柱状组织越来越明显;由动电位极化测试的结果得出不同衬底温度沉积的高熵合金薄膜在1mol/L H2SO4溶液中的耐腐蚀性都优于304不锈钢,且随着衬底温度的升高,薄膜的耐腐蚀性能降低,其中100℃沉积的薄膜的耐腐蚀性能最优。
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关 键 词: | 射频磁控溅射 高熵合金薄膜 组织结构 腐蚀性能 |
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