扫描电镜图象的非规则维分析

扫描电子显微镜二次电子象具有分辨率高、景深大等优点,是三维表面形貌观察的常用模式。但二次电子象是三维图形在垂直于入射电子束平面的投影,因此用单帧图象不能反映出复杂表面的三维信息。用体视学的方法,根据一对相关二维图象中的结构参数可以定量计算出三维几何结构,但对复杂的图象计算费时太多,而且存在定标上的困难。因此,对表面复杂、无规物体的三维图象的定量描述和分析是迫切需要解决的课题。