| 基于激光莫尔信号精密定位装置的高速高精度定位控制 |
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| 引用本文： | 周礼中,谢勇,古桥秀夫,内田悦行.基于激光莫尔信号精密定位装置的高速高精度定位控制[J].微计算机信息,2003,19(10):24-25. |
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| 作者姓名： | 周礼中 谢勇 古桥秀夫 内田悦行 |
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| 作者单位： | 1. 225009,扬州市扬州大学信息工程学院
2. 日本爱知工业大学情报工学科 |
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| 摘 要： | 介绍了激光干涉莫尔信号差动式精密定位方法，提出了精密定位装置的粗控和微控两段式控制方式。扩大了装置的定位控制范围，又有效地缩短精密定位时间。实现装置宽控制范围的高速高精度控制。
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| 关 键 词： | 集成电路 制造技术 激光莫尔信号精密定位装置 定位控制 |
| 文章编号： | 1008-0570(2003)10-0024-02 |
| 修稿时间： | 2003年6月30日 |
Control over high alignment accuracy and high speed of a precision alignment system based on laser moire signals |
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| Zhuo,Lizhong Xie,Yong.Control over high alignment accuracy and high speed of a precision alignment system based on laser moire signals[J].Control & Automation,2003,19(10):24-25. |
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| Authors: | Zhuo Lizhong Xie Yong |
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| Abstract: | This article introdn ces principle of the differential pre-cision positioning using laser Moire sign als and discusses the macro-control type and micro-control type of a precision a lign-ment system.The principle expands the control range and effec-tizely shor tens precision alignment time for precision alignment.It com fulfil control over high alignment accuracy and high speed of a precision alignment system. |
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| Keywords: | Laser moire signals Control over precisioni po-sitioning Alignment time Al ignment accuracy |
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