| Kalrez(R)全氟弹性体系列专题讲座(五)Kalrez(R)在半导体工业中的应用 |
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| 引用本文： | 肖风亮.Kalrez(R)全氟弹性体系列专题讲座(五)Kalrez(R)在半导体工业中的应用[J].世界橡胶工业,2007,34(2). |
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| 作者姓名： | 肖风亮 |
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| 摘 要： | 半导体的加工过程对工程技术人员分别提出了耐热、耐化学介质、超纯净等方面的要求,不同的Kalrez(R)密封件可满足这些要求.该文介绍了不同Kalrez(R)胶料的性能及其在半导体工业中的选择原则,概述了Kalrez(R)胶料在半导体工业常用化学介质中的性能.
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| 关 键 词： | 全氟弹性体 半导体 耐化学介质 |
Lecture on Kalrez(R) perfluoroelastomer Ⅴ: Kalrez(R) for semiconductor applications |
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| XIAO Feng-liang.Lecture on Kalrez(R) perfluoroelastomer Ⅴ: Kalrez(R) for semiconductor applications[J].World Rubber Industry,2007,34(2). |
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| Authors: | XIAO Feng-liang |
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