Kalrez(R)全氟弹性体系列专题讲座(五)Kalrez(R)在半导体工业中的应用 |
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作者姓名: | 肖风亮 |
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作者单位: | 广州机械科学研究院密封研究所,广东,广州,510700 |
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摘 要: | 半导体的加工过程对工程技术人员分别提出了耐热、耐化学介质、超纯净等方面的要求,不同的Kalrez(R)密封件可满足这些要求.该文介绍了不同Kalrez(R)胶料的性能及其在半导体工业中的选择原则,概述了Kalrez(R)胶料在半导体工业常用化学介质中的性能.
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关 键 词: | 全氟弹性体 半导体 耐化学介质 |
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