| 基于微机械电子技术的黏度测量传感器 |
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| 引用本文： | 黄琳雅,赵立波,罗国希,李支康,吴德志,林启敬,杨萍,蒋庄德.基于微机械电子技术的黏度测量传感器[J].机械工程学报,2021,57(8):13-22. |
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| 作者姓名： | 黄琳雅 赵立波 罗国希 李支康 吴德志 林启敬 杨萍 蒋庄德 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;教育部微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学(烟台)智能传感技术与系统研究院 西安710049;西安交通大学机械工程学院 西安710049;厦门大学机电工程系 厦门361005 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;中央高校基本科研业务费专项;国家重大研究计划 |
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| 摘 要： | 黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传统意义的宏观测量方法,基于微纳米尺度的黏度测量技术已展现出其突出的发展与应用前景.微机械电子系统(Micro-electromechanical systems,MEMS)技术的蓬勃发展促使黏度测量集成化、智能化与实时性,多样化黏度测量方法不断涌现,其中谐振式黏度测量受到颇为广泛而深入的关注,并显示了瞩目的 检测性能.首先回顾传统的黏度测量方法,然后再介绍了基于微机械电子技术的谐振式黏度测量方法,并分别总结了各自的特点.最后,对MEMS谐振式黏度测量方法的发展趋势进行了展望.
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| 关 键 词： | 流体黏度 测量方法 微机械电子系统 谐振 |
Review on Viscosity Measurement Sensor Based on Micro-electromechanical Systems Technology |
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| HUANG Linya,ZHAO Libo,LUO Guoxi,LI Zhikang,WU Dezhi,LIN Qijing,YANG Ping,JIANG Zhuangde.Review on Viscosity Measurement Sensor Based on Micro-electromechanical Systems Technology[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2021,57(8):13-22. |
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| Authors: | HUANG Linya ZHAO Libo LUO Guoxi LI Zhikang WU Dezhi LIN Qijing YANG Ping JIANG Zhuangde |
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