| 基于硅酸镓镧的声表面波高温压力器件的微结构加工制造技术研究 |
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| 引用本文： | 梁晓瑞,徐芳萌,薛涛,谭秋林,董和磊,熊继军.基于硅酸镓镧的声表面波高温压力器件的微结构加工制造技术研究[J].机械工程学报,2021,57(8):81-89. |
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| 作者姓名： | 梁晓瑞 徐芳萌 薛涛 谭秋林 董和磊 熊继军 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国防重点实验室 太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原030051 |
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| 摘 要： | 采用硅酸镓镧(Langasite,LGS)压电材料制备声表面波(Surface acoustic wave,SAW)高温压力传感器可解决高温、高压等恶劣环境下温度、压力等参数的实时原位测试的问题,但由于硅酸镓镧是一种高硬度难加工的硬脆性压电材料,因此开展了硅酸镓镧压电材料在高温等恶劣环境下的微结构加工制造技术的研究.通过分析LGS的化学与物理特性,利用湿法腐蚀工艺实现LGS的微纳成形制造和控制;以及利用高温热压直接键合工艺实现密封空腔的制造,研制出一套适用于LGS等硬脆性材料的微纳结构成形制造技术,并探究了微结构加工制造工艺的实用性.利用微结构加工制造技术实现的压力敏感微结构制备了基于LGS的SAW高温压力传感器样机并进行了测试,样机在25～1000℃、20～500 kPa环境下能稳定工作,验证了LGS微纳结构成形制造技术在高温等恶劣环境下应用的可行性.
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| 关 键 词： | 硅酸镓镧 声表面波 湿法刻蚀 热压键合 高温压力 |
Microstructure Manufacturing Technology of Acoustic Surface Wave High Temperature Pressure Devices Based on Langasite |
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| LIANG Xiaorui,XU Fangmeng,XUE Tao,TAN Qiulin,DONG Helei,XIONG Jijun.Microstructure Manufacturing Technology of Acoustic Surface Wave High Temperature Pressure Devices Based on Langasite[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2021,57(8):81-89. |
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| Authors: | LIANG Xiaorui XU Fangmeng XUE Tao TAN Qiulin DONG Helei XIONG Jijun |
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