沉积温度对渗钽层组织与耐蚀性能的影响

<正> 钽是一个负电性强的金属,其平衡电位相当低(E_(Ta/Ta_2O_3)=-0.81V),无论是在氧化性的还是在还原性的含氯化物的酸中(即使氧含量很小)都能生成致密的氧化膜(Ta_2O_5),这种膜的粘着性能好,牢固且稳定,在低于260℃的温度下有很好的保护性。由于钽的提炼和加工困难,价格昂贵。因此,研究和开发渗钽技术有它重要的实际意义。