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激光法合成SiC超细粉末物理化学过程的研究——Ⅰ.实验规律及粉末特性
作者姓名:隋同波  王廷籍
作者单位:中国建筑材料科学研究院,中国建筑材料科学研究院 北京 100024,北京 100024
摘    要:用50W连续波CO_2激光器为热源,诱发SiH_4和C_2H_4反应,合成SiC超细粉末。实验确定了反应腔体内压力p、气源中的C/Si原子比、喷嘴内径2r以及激光功率密度与粉末特性之间的关系,并对合成的产物进行物理、化学表征。

关 键 词:激光  气相化学反应  碳化硅  超细粉末
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