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| CBE气态源炉的研制 | |
| 作者姓名： | 朱世荣 孙殿照 |
| 作者单位： | 中科院半导体研究所三室MBE 组，中科院半导体研究所三室MBE 组，中科院半导体研究所三室MBE 组 北京 100083，北京 100083，北京 100083 |
| 摘 要： | 本文主要介绍我们研制的ＣＢＥ气态源炉和在我们与沈阳科学仪器厂联合研制的 ＣＢＥ系统上的使用结果。并简介国际上气态源炉的研制概况。 |
| 关 键 词： | 气态源炉 化学束外延 半导体 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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