| 基于DMD的数码全息光刻系统 |
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| 引用本文： | 姜兆华,张伟,吴宾初,沈冠群,王国庆.基于DMD的数码全息光刻系统[J].应用激光,2010,30(5). |
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| 作者姓名： | 姜兆华 张伟 吴宾初 沈冠群 王国庆 |
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| 作者单位： | 1. 上海市激光技术研究所,上海,200233;上海市激光束精细加工重点实验室,上海,200233
2. 上海市激光束精细加工重点实验室,上海,200233 |
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| 基金项目： | 上海市科学技术委员会应用技术开发专项资金项目 |
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| 摘 要： | 利用DMD空间光调制器与计算机的良好接口和控制系统的可编程性,将其作为二维图像发生器介入激光直写系统;采用高质量相机镜头,设计了基于DMD数字微镜的激光面阵干涉成像系统和相关的光刻软件,并进行了实验,制作了缩微图像、数字掩模灰度图像和激光数码全息图像等.
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| 关 键 词： | DMD空间光调制器 激光全息 面阵干涉光刻 数字掩膜 |
A Digital Holographic System Baised on DMD |
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| Jiang Zhaohua,Zhang Wei,Wu Binchu,Shen Guanqun,Wang Guoqing.A Digital Holographic System Baised on DMD[J].Applied Laser,2010,30(5). |
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| Authors: | Jiang Zhaohua Zhang Wei Wu Binchu Shen Guanqun Wang Guoqing |
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