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| 涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进 | |
| 引用本文： | 匡永麟,王晓冬,黄海龙,张鹏飞.涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进[J].真空科学与技术学报,2022(1):26-30. |
| 作者姓名： | 匡永麟 王晓冬 黄海龙 张鹏飞 |
| 摘 要： | 涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得.本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程序.面积加权法更加接近于涡轮叶列的工况,使用此方法提高了计算准确度,为涡轮分子泵组合叶列的计算... |
| 关 键 词： | 涡轮分子泵 抽气性能 传输几率 数值计算 面积加权法 |