改造蒸发台行星盘系统提升工艺可靠性

目标设备蒸发台无法对行星盘实际转速做实时监控，工艺过程中晶圆产品转速处于失控状态，有很大的生产可靠性风险。针对这一问题对行星盘的转速监测系统做优化改造，实现了行星盘实际转速在设备电脑端的实时测量和实时控制。在行星盘转速出现异常时，设备能够立即停止工艺，等待人员处理，有效保证了晶圆产品的生产安全。同时，通过改造对载片行星盘转速直接测量控制，保证了工艺参数的精准度。