| 微机械及微细加工技术 |
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| 引用本文： | 苑伟政,李晓莹.微机械及微细加工技术[J].机械科学与技术(西安),1997,16(3):503-508. |
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| 作者姓名： | 苑伟政 李晓莹 |
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| 作者单位： | 西北工业大学微型智能结构与微细加工技术研究室 |
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| 摘 要： | 介绍了微机械的概念，微机械的研究内容以及目前微机械产品的发展现状，特别着重介绍了目前微机械微细加工的方法。
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| 关 键 词： | 微机械 微细加工 技术 |
Micro machine and Micro fabrication Technology |
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| Yuan Weizheng,Li xiaoying.Micro machine and Micro fabrication Technology[J].Mechanical Science and Technology,1997,16(3):503-508. |
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| Authors: | Yuan Weizheng Li xiaoying |
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| Abstract: | The concept, the content and the recent produets developed of micro machine are presented, and the micro fabrication technology for micro machine is emphatically introduced. |
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| Keywords: | Micro machine Micro fabrication Technology |
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