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硫酸–甲醇体系钨电解抛光的可行性研究
作者姓名:宋萍  邢丕峰  谌家军  李朝阳  谢军
作者单位:西华师范大学物理与电子信息学院;中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
基金项目:国家高技术研究发展计划
摘    要:以硫酸–甲醇酸性体系作为电解液,对钨箔进行电解抛光研究。抛光后钨的表面均方根粗糙度和反射率的测试结果表明,该体系完全适用于金属钨的电化学抛光。对钨的阳极溶解行为进行了分析,讨论了溶液组成、槽电压、温度和搅拌速率对电抛光后钨表面粗糙度的影响。初步确定了金属钨电解抛光的工艺参数为:硫酸与甲醇的体积比1∶7,槽电压15~22 V,温度15~25°C,搅拌速率10 m/s。

关 键 词:  电解抛光  表面粗糙度  反射率  
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